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作者：

李华，周保范，郭党委，李喜玲，席力

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摘要：

高校超净实验室是进行微纳米器件加工研究的基础条件.制定和实施各项切实有效的规章制度,能够长期有效的保障超净实验室内环境洁净度不发生异常,并保证超净实验室的设备高效运行.结合兰州大学超净实验室管理中制定的制度,规程,对其环境维护及设备运行的管理经验进行了总结介绍,结果表明该制度和规程切实可行并有效地保障了该超净实验室多年的正常高效运行.

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关键词：

超净实验室；设备；运行；管理

DOI：

CNKI:SUN:GXSG.0.2018-01-025

年份：

2018